在精密机械零件加工中，光学机构几何量测微测量仪按照参照工具基本上可以为分为四大类：干涉仪、自准直光管式仪器、显微镜式仪器、投影式仪器。

　　在精密机械零件加工中，显微镜式仪器和投影式仪器，是把被测量件经光学系统放大成像，采用光学的示值系统对象进行测量。放大多少倍测量，比目视不放大瞄准测量的精度也提高多少倍。

　　在精密机械零件加工中，自准直光管式仪器由望远镜和平行光管组成，用准直光管的示值系统对用望远镜获得的像进行测量。其放大倍率M（望）是望远镜的物镜焦距F（物）和目镜焦距F（目）之比：M（望）＝F（物）／F（目）。它与被测精密机械零件加工物体的位置无关，因此扩大了仪器的用途。自准直光管光学示值系统是一些光学仪器的组成部分，如与正切机构可以组成测微机构光学比较仪及０．２μｍ的影屏读数光学比较仪，也可以单独使用。

　　在精密机械零件加工中，干涉仪是根据光波干涉原理设计的测微机构，以光源波长为基准实现最微量的测微机构。特别是激光光源的出现和激光技术、电子技术的发展，更扩展了精密机械零件加工的干涉测微机构的应用范围。