图7-10（a）为精密机械零件加工厂的一滚动导轨的微调机构，弹簧片3在B端固定[原理见图7-10（b）]，A端悬臂，其长为L。当A端受力挠度为し时，在C处（Kl处）根据弹性悬臂梁变形公式其挠度为Yc。因为K＜1，如果取K为1/10、则很容易得1/100左右的减缩比。利用弹性变形、无外摩擦力和间隙等因素影响，精密机械零件加工可方便地得到极小微量位移，直到纳米级。微调时松开开口螺母7的松紧手柄6，将微动杆与拖板连成一体，便可转动微分筒5使板簧变形，则拖板按C点挠度量微动。

　　另外，深圳CNC加工厂家指出，柔性铰链机构是一种结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙、无需润滑、运动灵敏度高、具有较高的分辨力的传动导向机构。近年来，柔性铵链逐渐应用在微位移机构中，以柔性铰链为导向机构的超高精度微位移工作台，广泛应用于能束加工、超精密加工和检测、微操作系统等具有纳米级定位分辨力的设备中。

　　图7-10（c）为精密机械零件加工厂的一种柔性铰链机构。该机构通过整体线切割的方法，在一块弹簧钢板上切割而成，采用左右对称式结构，使位移平行性较好。柔性铰链的驱动块由压电陶瓷微位移器驱动。合理设置柔性铰链的杠杆比，并结合压电陶瓷微位移器，也很容易得到纳米级的位移。